Gas Connection Assignment Table

CGA

DISS

BS

DIN

JIS

Ammonia

660 or 705

720

No.10

DIN 6

22-R

Argon

580

718

No.3

DIN 6

22-R

Arsenic Pentafluoride

----

642

----

----

----

Arsine

350

632

No.4

----

22-L

Boron Trichloride

660

634

----

DIN 8

22-L

Boron Trifluroide

330

642

----

DIN 8

22-L

Carbon Dioxide

320

716

No.8

DIN 6

22-R

Carbon Monoxide

350

724

No.4

DIN 5

22-L

Chlorine

660

634 or 728

No.6

DIN 8

22-R

Diborane

350

632

----

----

22-L

Dichlorosilane

678

636

----

DIN 5

22-L

Diethylzinc

510

726

----

----

----

Diethyltelluride

350

726

----

----

----

Dimethylzinc

350

726

----

----

----

Disilane

350

632

----

----

22-L

Germane

350

632

----

----

22-L

Halocarbon 11

660

716

----

----

----

Halocarbon 12

660

716

----

DIN 6

----

Halocarbon 13

660

716

----

DIN 6

----

Halocarbon 14

320 or 580

716

No.6

DIN 6

22-L

Halocarbon 23

660

716

----

DIN 6

22-L

Halocarbon 115

660

716

----

DIN 6

----

Halocarbon 116

660

716

----

----

22-L

Helium

580

718

No.3

DIN 6

20.9-L

Hydrogen

350

724

No.4

DIN 1

22-L

Hydrogen Bromide

330

634

----

DIN 8

22-L

Hydrogen Chloride

330

634

No.6

DIN 8

22-L

Hydrogen Fluoride

660 or 670

638

No.6

----

22-R

Hydrogen Sulfide

330

722

No.15

DIN 5

26-L

Krypton

580

718

No.3

DIN 6

22-R

Neon

580

718

No.3

DIN 6

22-R

Nitrogen

580

718

No.3

DIN 10

22-R

Nitrogen Trifluoride

330

640

----

DIN 8

22-L

Nitrous Oxide

326

712

No.13

DIN 8

22-L

Oxygen

540

714

No.3

DIN 9

22-R

Perfluoropropane

660

716

No.3

----

22-L

Phosphine

350

632

No.4

DIN 1

22-L

Phosphorus Pentafluoride

330

642

----

----

22-L

Silane

350

632

----

DIN 1

22-L

Silicon Tetrachloride

330

636

----

DIN 8

----

Silicon Tetrafluoride

330

642

----

----

22-L

Sulphur Hexafluoride

590

716

No.6

DIN 6

22-R

Trichlorosilane

----

636

----

----

----

Triethaluminum

510

726

----

----

----

Tungsten Hexafluoride

670

638

----

DIN 8

22-R

Xenon

580

718

No.3

DIN 6

22-R